样品的清洁

样品的清洁处理

样品为什么需要清洁处理？表⾯杂质微粒污染影响性质的探测

Resistive Heating

• 用电流加热陶瓷管里的钨丝
• 对样品要求不高

Direct Heating

• 适用于半导体，加热效率最高

E-beam Heating

• 适用于难融化金属
• 温度控制精度低

离子轰击

• Ar 离子轰击（直接扒皮）

弹性正碰传递能量最好的情况是质量相当，Ar 的质量比较合适

产生电子就两种方法：热发射（热偶规）/冷发射（离子泵）

两种氩枪的优缺点

• 剥蚀效率
  • 热阴极 < 冷阴极
  • 热阴极离化效率有限，冷阴极产生的正离子数目更多
• 能量范围
  • 冷阴极 > 热阴极
  • 热阴极产生的离子受电场加速，能量范围较窄；冷阴极存在二次离化，理论上能量从 0 开始都有
• 剥蚀效果
  • 表面敏感的样品，热阴极更温和；对于不敏感的样品，冷阴极效率更高
• 氩枪工作寿命
  • 热阴极 \(\ll\) 冷阴极

其它方法

• 脆型单晶真空环境下的解理
• 化学反应
• 场脱附

样品的制备

• 蒸发源

  

• 分子束外延生长（Molecular Beam Epitaxy, MBE）

  

量子调控

巨磁阻（Giant Magnetoresistance, GMR）

质谱仪（MS）

应用

• 热脱附谱（Thermal Desorption Spectroscopy, TDS）

  • 加热材料，分析脱附物质
  • 质谱固定质量数扫描

• 二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）

  • 微量元素检测
  • 纵向横向三维分布
  • 有损检测
  • 有择优性（原子质量和 Ar 相近的）